二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一款下一代生产蚀刻器/asher，旨在以极高的精度和吞吐量打造高长宽比结构和接触空穴。机器采用模块化设计，允许不同的用户根据自己的特定需求定制机器。TEL Indy-B配备了东芝2.2MeV离子源和1.5米x 1.0米的加工室，共同提供卓越的吞吐率和蚀刻率。蚀刻器/asher还提供了"无触摸"处理,这意味着在蚀刻、研磨和等离子体处理过程中,所有晶片处理都是非接触式的,可防止对细腻晶片或设备造成划痕或其他损坏。该机还采用了强大的反馈控制蚀刻和灰化工艺，使用实时高级匹配算法来保证蚀刻和灰化特征的精确定位，即使在高吞吐量水平下也是如此。除了强大的蚀刻和灰化能力外，TOKYO ELECTRON Indy-B还提供先进的等离子体生成系统，具有多电子回旋共振（ECR）源和一系列气体注入光学器件。这允许产生各种等离子体，从用于扩散和CVD步骤的超低流量等离子体，到用于蚀刻和灰化的高密度等离子体。等离子体系统的其他特点包括自动调频、实时气体匹配和远程等离子体发生器。利用Indy-B 蚀刻器/asher的各种功能，用户可以以极高的精度和吞吐量创建高长宽比结构、接触孔和其他小型设备。此外，它的模块化设计和强大的过程控制系统使它成为先进的微加工工艺的完美工具。