二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一种蚀刻和灰化系统，旨在为半导体制造商提供高精度和可靠的临界基板加工。它具有易于学习和用户友好的TEL界面,允许为不同的流程应用程序提供用户定义的配方。TEL Indy-B由加热器/映射器和处理元件两个主要部分组成，物理连接。加热器/映射器负责精确加热和映射晶片，而加工组件执行蚀刻和灰化过程。TOKYO ELECTRON Indy-B具有优化的高分辨率区域映射和全晶圆映射模式。加热器/映射器不仅为用户提供精确的温度控制，还可以让用户监控其精确的电阻和电压水平。它还支持多种气体，确保有效的气体流动，并将破损或缺陷的风险降至最低。Indy-B的加工部件最多支持五个腔室，包括两个平行蚀刻和灰烬、两个单晶片灰烬和一个单晶片蚀刻器。为确保晶片均匀分布进行处理，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B基于单晶片或多晶片配方自动处理晶片。TEL Indy-B可以操作直径达200毫米的晶圆，为用户提供可靠高效的蚀刻和灰化解决方桉。TOKYO ELECTRON Indy-B还具有先进的MEMS测试功能，使用户能够快速准确地评估MEMS结构上蚀刻程序的有效性。此外,用户还可以使用Indy-B的综合应用程序套件来开发、编程和执行各种蚀刻和灰化过程的配方。这样可以确保用户能够灵活地开发自定义蚀刻和灰分配方,以满足其确切的应用程序要求。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一种高度先进的蚀刻和灰化解决方桉,在关键基板加工中提供高性能和精确度。其全面的应用套件和全面的测试能力使其成为需要卓越蚀刻和灰化效果的半导体制造商的理想选择。