二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293587748 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种同时设计用于批量和单片加工的蚀刻器/asher。它配有一个大型加工室、一个自动晶片定心机构和一个用于晶片厚度测量的内置传感器、一个晶片冷却单元、对准板和空气调节单元。TEL Indy-I-L是一款多合一设备，可以处理多种材料和工艺，允许微调和容易的工艺优化。它易于使用的界面和触摸屏控制使得TOKYO ELECTRON Indy-I-L适合所有用户，无论他们的体验水平如何。Indy-I-L还具有独特的基于卡带的配方系统，允许多个配方保存在同一文件中，从而允许快速高效的参数更改。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L配备了多过程通道的优化单元，允许独立的过程操作和并发过程。这台机器缩短了周期,增加了灵活性和吞吐量。TEL Indy-I-L的许多蚀刻工艺包括干蚀刻、溅射蚀刻、RIE蚀刻和化学气相沉积。它还能够在晶片的正面和背面同时溅射。各种气体，包括CF4和氦气，都可以用来蚀刻。TOKYO ELECTRON Indy-I-L提供了广泛的配方，包括原子层蚀刻、纳米压印光刻和介电蚀刻。Indy-I-L采用最先进的冷却工具进行设计，以保持高工艺质量和稳定性。其高压气体资产允许精确的气流控制，而其先进的真空控制模型则保证了高质量的蚀刻工艺。其强大的真空源确保减少粒子计数，而其浮光束源则提供精确的能量分布。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是先进半导体加工的绝佳蚀刻器/asher。其多工艺能力和不同配方之间的快速转换使其成为生产尖端设备的绝佳选择。直观的触摸屏界面、先进的冷却设备和高精度工艺使其非常适合当今要求苛刻的半导体要求。