二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293809896 待售
网址复制成功！
单击可缩放
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它是一种反应性离子蚀刻器（RIE），利用等离子体蚀刻具有精确控制离子能量、离子通量和离子条件的器器层。蚀刻过程旨在塑造设备的物理特征,同时避免损坏底层结构。TEL Indy-I-L是一种垂直集群设备，能够同时蚀刻多达6个晶圆。该系统配备了精密级的晶片定位于蚀刻室中，以及用于高频功率控制的射频发生器。该单元具有通过逻辑控制控制蚀刻参数的能力，提供精确、可重复的蚀刻结果。它有一个上电极和两组下电极，将等离子体引向特定的方向。通过更改蚀刻时间和射频功率级别,可以针对特定的设备层和应用程序定制蚀刻过程。TOKYO ELECTRON Indy-I-L机为提供低温蚀刻而设计，针对蚀刻超薄模具进行了优化。该工具还包括快速反应气体净化资产和气体处理，以增强蚀刻选择性和高精度蚀刻剖面。该模型可以从0.05微米的薄层进行蚀刻，在深度控制和整个晶圆的蚀刻均匀性方面具有很高的精确度。蚀刻设备被封装在不锈钢腔室中，以确保操作过程中操作员的安全。过程控制由内置PC处理,用于优化蚀刻配方。此外，系统还包括自动晶片装载机、晶片监视器、离子纱网监视器和质量保证传感器。Indy-I-L旨在提供高吞吐量的快速处理，使其适合研究和生产设置。
还没有评论