二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394512 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种为半导体基板加工而设计的蚀刻器/asher。它在蚀刻、沉积和表面处理方面具有很高的性能。TEL Indy-I-L是一种灵活的工具，允许用户从众多的配方和生产模式中进行选择，以满足他们的要求。TOKYO ELECTRON Indy-I-L配备了具有高比例感应耦合等离子体（ICP）源的等离子体源。该光源即使具有很高的纵横比结构也能提供较高的蚀刻速率和均匀性。该工具还具有双换能器和防振动系统（AVR）设计,以实现卓越的性能。该室还配备了高效的热交换器，用于快速加热和冷却，以减少循环时间。Indy-I-L具有直观的用户友好操作面板，使设备易于使用。用户可以使用受密码保护的访问权限在软件中设置蚀刻参数。这简化了过程,并提供了存储蚀刻配方的安全方法。该软件还包括一个内置数据库和文档，以协助配方开发。对于蚀刻，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L支持广泛的蚀刻化学方法，包括高密度等离子体（HDPET）、氧气（O2）、六氟化硫（SF6）和四氟甲烷（CF4）。该工具还支持一系列反应物气体，包括氮气（N2）、氢气（H2）和氙气（Ar）。TEL Indy-I-L还具有很高的蚀刻均匀性,能够实现精细的几何形状和关键的阵列处理。对于沉积，TOKYO ELECTRON Indy-I-L具有直接镀层技术（DIP），可实现高速率、高均匀性、薄膜沉积。该工具还具有进行离子辅助沉积和低压化学气相沉积的能力。Indy-I-L还配备了先进的晶圆传输系统（WTS），用于晶圆的安全快速传输。这种高效的晶圆处理系统消除了转移过程中可能造成的损坏和污染。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L在半导体基板加工中提供了稳定性、准确性和可重复性。它是一种高效可靠的工具，支持广泛的蚀刻和沉积技术，以及晶圆处理系统。它是复杂的半导体基板加工要求的理想选择。