二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种蚀刻器/asher，为半导体器件的制造提供模式化解决方桉。它是一种高效、自动化的短脉冲Asher（SPA）设备，使用电子束光学器件在半导体基板上创建高维精度图样。它适用于生产需要高分辨率的复杂设备,如逻辑、DRAM和特定于应用程序的集成电路（ASIC）。TEL Indy-I-L配备了多种来源、光束传输元件和工艺工具，能够在单一系统中实现多层曝光。它具有静态位置精度小于1.5微米的光束编码传感器。它还包含一个曝光控制单元，旨在保持跨阵列特征的高度均匀性。在光源方面，它配备了一个大功率的25千瓦磁控管，能够输送短脉冲持续时间从几皮秒到几微秒不等的激光。除了电子束曝光控制机外，TOKYO ELECTRON Indy-I-L设有原位气体输送工具，用于蚀刻和灰化过程。该资产由供气管线、排气模型和允许微调工艺性能的压力控制器组成。此外，它还配备了两个独立的集成干蚀室，能够进行各种工艺，如蚀刻、灰化和沉积侧壁钝化层。Indy-I-L还包含一个可用于监控和调整设备参数的过程控制计算机和软件。该软件允许气体和等离子体占空比以及暴露剂量的变化。计算机还预编程了多种配方，可用于在生产线的不同系统之间保存和传输数据。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种高效可靠的蚀刻器/灰化器，非常适合半导体器件制造的所有阶段。它具有执行各种蚀刻和灰化过程的能力,并且能够以较高的精度对复杂几何进行阵列化。其用户友好的界面允许轻松操作，而其高功率磁控管和气体输送系统则实现了卓越的性能。