二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种蚀刻器/asher,它为气体和物理蚀刻提供了一种紧凑且经济高效的解决方桉。它旨在提供高度的灵活性和多功能性,并且能够处理广泛的蚀刻任务,包括聚合物、电介质、金属和其他材料的蚀刻。该机可加工直径达300毫米的晶片，非常适合中小批量制造作业。TEL Indy-I-L的主要蚀刻工艺是使用一种称为氯气的特殊气体完成的。机器配置有两个注入喷嘴，将气体注入蚀刻室以产生精确的压力。因此，从晶圆的各个侧面实现了目标材料的均匀蚀刻。可以使用基于PC的用户界面精确调整压力、温度和定时等蚀刻参数，为用户提供广泛的蚀刻选项。蚀刻工艺还可以采用磨料溅射、激光蚀刻等物理蚀刻方法进行补充。例如，磨料溅射允许从金属表面去除有机表面层，而激光蚀刻则允许精确蚀刻凹坑、孔和电路图样。TOKYO ELECTRON Indy-I-L还配备了特殊的石英加热器，蚀刻后可用于干燥晶圆。Indy-I-L配备了多种安全机制，以确保操作员和设备在发生电离事件或气体泄漏等意外事件时的安全。该机还配备了高灵敏度传感器，可检测蚀刻条件的任何变化。如果发生任何更改,传感器将触发自动关机,从而允许操作员采取适当的操作。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一款出色的蚀刻器，可用于多种材料。它提供了灵活性和多功能性、对蚀刻参数的精确控制以及几种安全机制-所有这些都是以经济高效的价格实现的。TEL Indy-I-L是中小型批量制造运营的可靠有效选择。