二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种中等通量、多平台蚀刻器和asher。它可以用于广泛的材料，包括金属，硅，化合物和电介质。其应用包括晶圆清洗、沉积和蚀刻。它具有高度的通用性和适应性,允许用户使用3维角度蚀刻和背面灰泥。TEL Indy-I-L使用230mm、300 mm和450mm晶圆直径，非常适合多种应用。它配备了三个电磁阀通道匹配执行器（EVMA）组件，允许高精度和处理速度。使用寿命长的等离子体源可确保不同类型的材料沉积和蚀刻过程的最佳性能。内置的腔室温度控制设备允许广泛的蚀刻温度，提供精确的蚀刻。TOKYO ELECTRON Indy-I-L也包含高温沉积系统，能够快速的高温过程如SiGe/Si沉积和高温LPCVD。电磁泵支持此功能,有助于保持令人印象深刻的均匀性。不仅如此，蚀刻器还具有氮气级联装置，可确保实现新气体绝缘和清洁腔室。Indy-I-L在安全方面也很丰富。它配备了安全保护功能，可以在任何操作前后清除腔室，确保达到最高安全水平。机器还利用内置的紧急停止按钮，在紧急情况下立即停止机器。最后，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L在运维两方面都具有弹性。其用户界面配备了触摸屏、图形菜单和云存储功能，允许用户存储设置和配方，使操作和维护大大简化和方便。总体而言,TEL Indy-I-L是那些需要高精度、大吞吐量和通用蚀刻/灰化工艺的用户的理想蚀刻器/灰化器。它坚固耐用,提供用户所需的精确度和安全性。它还非常方便用户，使用户能够快速响应广泛的蚀刻和灰化应用。