二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是由TEL设计设计的先进等离子体蚀刻器/asher。这款蚀刻器专为多种基板的高通量等离子体蚀刻而设计，包括多层半导体器件、电介质和金属。TEL Indy-I-L是一款完全集成的蚀刻器，具有高分辨率的自动对准设备、高速取样机器人以及用于底物和薄膜等离子蚀刻的先进等离子体源。TOKYO ELECTRON Indy-I-L被设计为在广泛的薄膜和基板上提供高蚀刻速率和选择性，使蚀刻器被用于制造具有高度精确度和均匀性的器件。高速取样机器人使具有不同几何形状的大型基板得到快速准确的处理，而自动对准系统则确保了模式识别和基板配准的精确。这个单元还有一个先进的等离子体源，能够提供广泛的蚀刻功率和气体，控制程度很高。Indy-I-L先进的过程控制和诊断机器允许实时监控蚀刻过程参数，包括等离子体温度、压力、功率和气体流量。这使工程师能够精确控制蚀刻参数,并在需要时立即调整参数以确保最高质量的蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L也与模拟工具完全兼容，允许工程师在实际处理之前测试和模拟蚀刻过程。这样可以确保工程师拥有必要的数据和信息,以最大限度地提高蚀刻过程的性能。TEL Indy-I-L是需要高通量蚀刻工艺的半导体制造商和研究实验室的理想解决方桉。其先进的特性、灵活性和兼容性使得TOKYO ELECTRON Indy-I-L成为先进研究和设备制造的绝佳选择。