二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #9211646 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD是一款由半导体制造设备领先供应商TEL设计的蚀刻器和asher。这种尖端蚀刻器和asher旨在帮助半导体制造商实现尽可能高的表面光洁度质量,同时显着缩短蚀刻时间。TEL Indy IRAD蚀刻器和asher因其独特的蚀刻腔设计而能够均匀蚀刻。这种独特的设计允许改进过程控制、均匀性和可重复性,这是生产质量更高的精加工产品的关键。该设计还有助于减少蚀刻时间,同时确保均匀蚀刻深度,这在诸如浅沟隔离(STI)蚀刻等关键蚀刻过程中尤为重要。TOKYO ELECTRON Indy IRAD还利用源技术提供最大蚀刻功率和过程控制。光源技术有助于最大限度地提高蚀刻光束的效率,同时最大限度地减少蚀刻时间。它还有助于确保蚀刻过程既安全又一致,并有助于提高蚀刻的均匀性和可重复性。Indy IRAD还配备了全自动装卸设备。该系统能够将晶片从盒式磁带中转移出来,进行自动晶片对准,并将晶片装入腔室。该单元极其可靠,有助于消除任何手动错误,确保高度精确的蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD还具有内置端点确定机。此工具有助于准确确定已蚀刻材料的总量,有助于确定蚀刻过程是否完整。资产还有助于提高流程收益率并减少蚀刻时间。最后,TEL Indy IRAD旨在减少对多个处理步骤的需求,并且可以与各种蚀刻应用一起使用。其直观的用户界面提供了方便的控制和编程,并有助于减少过程时间。TOKYO ELECTRON INDY IRAD还设计用于安全、清洁的房间环境,进一步帮助提高工艺可靠性和效率。所有这些功能使Indy IRAD成为蚀刻和灰化应用的理想选择。
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