二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293591864 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款针对半导体生产优化的高级蚀刻器/asher。它能够处理各种类型的基板，从最薄的介电层到最厚的金属层，同时保持极好的精度和较小的图桉尺寸。该机易于使用和灵活的设计使其成为高级工艺开发和大批量生产的理想选择。TEL Indy Plus-A-M最重要的特点之一就是其快速过程开发（RPD）技术。该设备具备高速蚀刻处理时间，允许用户快速开发优化的蚀刻工艺。该蚀刻器还提供对蚀刻工艺参数的高精度控制，从而产生可重复的结果。它还提供了几种优化胶片均匀性和可重复性的技术。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M还具有先进的真空技术，用于基于真空的蚀刻应用。该系统具有高达5 x 10-2毫巴的高真空压力能力，允许蚀刻即使是最薄的材料层。此外，先进的真空技术最大限度地减少了气体扩散，并保持了必要的低蚀刻温度，这对于成功的蚀刻过程很重要。除了出色的蚀刻效果外，该单元还配备了先进的安全系统，如先进的自动装卸机，确保了基板的安全高效处理。所有工具参数，包括温度和压力，都可以根据需要容易地进行监测和调整。这样可以减少出错的风险,同时提供出色的蚀刻结果。此外,Indy Plus-A-M非常可靠,并通过长时间的生产运行提供性能一致性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款为半导体生产而优化的可靠且高精度的蚀刻器/asher。其强大的特点促进了工艺的快速发展、高精度的控制，以及出色的胶片均匀性和可重复性，使生产成功。先进的安全系统确保了安全处理和资产的正常性能一致性，使其成为半导体生产苛刻环境的绝佳选择。