二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是由半导体制造设备的制造商和全球分销商TEL Ltd.制造的化学蚀刻器和灰化器。TEL Indy Plus-A-M旨在为包括氧化物、氮化物、金属和聚合物在内的各种材料提供批量蚀刻和灰化服务。该系统利用先进的计算机引导控制器和机器人技术，通过直观的用户界面提供全晶片对晶片的过程控制。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M配备了三个腔室和六个工艺模块，外加一个额外的气体分配面板。第一个腔室是蚀刻腔室，用来蚀刻不需要的材料，并用酸、碱或反应性气体锐化特征。第二个腔室是灰烬腔室，利用氧气或氮气基等离子体快速去除薄层材料，允许更快的加工和更一致的光洁度。第三个腔室是一个泵模组，用于仔细控制化学品和气体的流动，并有助于维持系统的大气和基板完整性。Indy Plus-A-M的内部计算机引导控制器控制温度和压力以及其他操作参数,以获得准确、可重复和安全的结果。机械臂提供精确的基板移动和放置过程,从而实现最大的吞吐量和最小的停机时间。该系统还提供各种食谱，使其适合各种应用。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M能够处理多种底物，包括硅、III-V、聚合物和金属。它有mini （375毫米）、mid （450毫米）和max （525毫米）版本，可容纳直径达5.25英寸的晶圆。TEL Indy Plus-A-M还具有一个自适应过程监视器，该监视器自动调整蚀刻和灰化参数，以消除处理过程中可能出现的任何潜在的不均匀性。TOKYO ELECTRON INDY Plus-A-M是一款可靠、用途广泛的蚀刻器和asher，为需要蚀刻和粉刷高密度底物并取得一致结果的客户提供了巨大的价值。它提供了广泛的处理选项,可定制以满足客户的需求,并得到TOKYO ELECTRON庞大的知识渊博的客户服务专业人员网络的支持。