二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293637640 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是TEL（TOKYO ELECTRON）开发的等离子蚀刻和设备设备，用于半导体和MEMS/NANO加工。TEL Indy Plus-A-M是一种等离子体蚀刻系统，能够在保持高精度和吞吐量的同时，对极其狭窄和精细的几何形状进行高质量的蚀刻。主要用于半导体加工、光掩模制造、MEMS/NANO器件应用。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M有一个标准的6英寸和8英寸批次或团簇蚀刻室，用于批次、平面或各向同性蚀刻。一个新版本也可在一个更大的12英寸晶圆，以适应更大的晶圆尺寸。该腔室为高生产率而设计，具有优异的均匀性、可重复性和低颗粒污染。它的高性能过程控制单元和智能设计允许从一个过程快速切换到另一个过程。过程控制机还可以进行实时调整，以确保针对不同类型材料的最佳工艺条件。Indy Plus-A-M配备高级TEL/TOKYO ELECTRON Etch Module （TEM）控制器,可提供机载高级多功能性和控制选项。它支持广泛的蚀刻配方，包括平面线性和各向异性蚀刻配方。TEM对蚀刻参数的功率、压力和匹配提供了极高的精度，同时支持多种蚀刻配方和模拟逃逸。TEM处理Si蚀刻和SiN蚀刻配方,集成工具提供卓越的轮廓控制和关键蚀刻可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M也具有3D等离子体分析功能，允许用户实时监控蚀刻均匀性和加工条件。它还有一个内置的诊断模块，可以快速监测和调整过程参数。该资产还具有边缘偏差模块,该模块可针对不同类型的材料优化蚀刻结果。TEL Indy Plus-A-M还通过其专用软件开发工具包（SDK）支持最终用户,该工具包允许定制和开发特定于用户的设备制造应用程序。此SDK提供了将用户指定的配方和工艺集成到TEL蚀刻模块中的灵活性,从而确保了对蚀刻工艺的精确和完全控制。总之，TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款先进的蚀刻器，允许用户高精度、重复性和吞吐量，同时支持各种各样的蚀刻配方和工艺选项。Indy Plus-A-M具有直观的操作、集成的过程控制模型和灵活的SDK,是许多半导体和MEMS/NANO制造应用的必备工具。