二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637541 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M蚀刻设备专为晶圆级体积生产而设计，可集成到多种湿式长凳、负载口和清洁站。该系统具有先进的感应耦合等离子体（ICP）和快速热循环（RTC）模块,在硅蚀刻过程中提供卓越的性能。该单元配备了简化刀具操作和维护的站控机中间控制器（SCIC）。一个易于使用的图形用户界面在必要时引导通过资产端口,并且可以确定点对点数据采集和模型状态。SCIC得到配方存储功能的补充,该功能允许存储多个配方,并且可以与多个系统和工具配置一起使用。TEL INDY PLUS B-M蚀刻设备设有ICP发生器和快速热循环（RTC）模块，以提供稳定和统一的工艺。ICP是一种高频（13.56 MHz）的电容耦合等离子体源。ICP有助于提高蚀刻均匀性，提高蚀刻速率，并确保在整个蚀刻过程中具有很高的选择性。ICP生成器还可以快速、精确地调整流程应用程序,以获得所需的蚀刻结果。RTC模块可以在毫秒内在冷热之间循环，以进行快速热退火（RTA），这有助于提高工艺的均匀性，保持短蚀刻时间。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M蚀刻系统设计为支持温度和晶圆级控制。为了优化蚀刻速率和均匀性，对工艺基板温度进行了快速监测和高度调节，以改变气流参数和功率水平。晶圆的自动对准和OCR特性也可以处理晶圆的转移和处理,确保每个基板进入加工室,其后缘垂直于晶圆的表面。该单元利用多个泵、涡轮分子泵和化学喷射系统来管理工艺室。内置质量流控制器（MFCs）管理流程，以维持腔室内的受控气氛。此外，它还具有离子束安全百叶窗、射频篮子安全百叶窗、实时腔室压力监测等多项安全功能。总之，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M蚀刻机是生产高质量、精密晶片的可靠、坚固的蚀刻工具。它结合了ICP、RTC和晶圆级控制，确保了过程的均匀性，并产生了稳定的可重复性结果。其直观的耐热功能降低了维护成本，支持在各种工艺室中工作。