二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271 待售

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ID: 293643271
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Furnace, 12" Process: MDZrOX KAWASAKI W/T Robot 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款中等规模的批量蚀刻器/asher,经过设计,提供全面的蚀刻和灰化解决方桉。此多站蚀刻器/asher为物理和化学蚀刻/灰化过程提供集成解决方桉,允许用户同时处理多达6种基材。这使用户能够提高吞吐量、质量和准确性,能够随着时间的推移提供一致的结果和可重复的性能,同时减少停机时间。此蚀刻器/asher通过提供广泛的功能而脱颖而出,例如高速反应加速度、对蚀刻/研磨条件的精确控制以及先进的工艺监控。所有用户友好的功能都可以通过其触摸屏液晶显示器的直观界面获得。这种用户友好的系统允许操作员轻松更改蚀刻/灰化过程的运行参数,并提供逐步的方向,以便于设置和优化蚀刻/灰化配方。TEL INDY PLUS B-M还提供了卓越的工艺灵活性,为不同的蚀刻/灰化工艺提供了各种气源和气流。通过使用AutostopTM函数,可以在完成设定的处理时间或达到所需端点后自动停止蚀刻/灰化操作。这使用户无需手动监视和调整其工艺条件,即可最大限度地提高其蚀刻/灰化产量。此外,先进的温度控制系统可确保可靠和均匀的蚀刻/灰化率,同时将丢弃样品的数量降至最低。这种蚀刻器/asher的设计考虑到了最大的安全和卫生。利用内置的安全联锁和先进的传感器,TOKYO ELECTRON PLUS-B-M能够安全检测蚀刻/灰化过程中的任何故障,以及监测和控制化学物质泄漏和废气排放。此外,其闭环循环系统最大限度地降低了空气污染的风险,其自动清洁周期确保了清洁和无污染的工作空间。总之,TEL INDY PLUS B M是中型批量蚀刻和/或灰化工艺的绝佳选择。此高级蚀刻器/asher提供高级功能,允许用户为其蚀刻/灰化需求设置优化的工艺参数,而其内置的安全功能保证安全可靠的操作。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M凭借其用户友好的界面、灵活的工艺选项以及卓越的安全设计,是最苛刻的研究和工业应用的理想蚀刻/灰化工具。
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