二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款为半导体制造工艺而设计的蚀刻器/asher，用于制造半导体器件和元件。它是一种高精度的蚀刻器/灰化器，能够进行各种工艺，如离子蚀刻、钨蚀刻、化学气相沉积（CVD）、快速热退火（RTA）以及用于设备制造的其他先进工艺。蚀刻器/asher装有高度可靠的介电膜蚀刻器、静电卡盘和冷却装置。这种组合可以使半导体器件和组件的蚀刻和退火达到最佳效果。TEL INDY PLUS B-M具有较大的腔室尺寸和高密度的蚀刻能力，每次释放最多可处理20个晶圆。蚀刻器/asher配有内置的智能过程控制,可自动执行过程并确保生产的一致性。Smart Process Control还允许用户实时监控设备，从而可以监控蚀刻和退火过程参数。另外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M可以在多种温度范围内使用，使其适合广泛的应用。INDY PLUS-B-M的设计采用了流线型直观的用户界面，使用户可以轻松浏览蚀刻和退火过程。它还配备了先进的诊断系统，可以识别异常并诊断蚀刻或退火过程中可能出现的任何问题。该单元配备了一个数据库，用于存储蚀刻或退火过程的配方以及存储测试结果以进行比较的能力。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M具有位于腔室入口附近的多个离子源，可以很容易地插入，用于特定的蚀刻和退火应用。蚀刻机还配备了先进的安全机器，以确保操作员的安全并防止发生任何事故。此外，蚀刻器/asher还配备了自动工具校准，使检查和校准软件与正确处理各种材料所需的不同参数对齐。总体而言，INDY PLUS B-M是为先进的半导体制造工艺而设计的可靠、高精度的蚀刻器/asher。它为蚀刻、钨蚀刻、CVD、RTA和其他用于设备制造的高级工艺提供了快速高效的工艺。它的大腔室尺寸和高密度蚀刻能力，加上内置的智能工艺控制，使其适合广泛的应用。此外,该资产还配备了高级诊断、数据存储能力和自动模型校准功能,使其成为任何半导体制造过程的可靠选择。