二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643277 待售
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ID: 293643277
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Load lock system
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Etcher/Asher是一款用于后端线（BEOL）应用的湿式台式蚀刻器和Asher，非常适合广泛的制造工艺。此高级工具围绕三个独立的自动化进程：剥离、蚀刻和灰化。剥离是最初从硅片中去除腐蚀性层所用的工艺，这是随后湿处理的必要步骤。该工具的高压模式允许一次剥离多达9个晶片，使得吞吐量比其他同类工具更快。蚀刻是过程中的下一步，也使用高压喷雾或浸入能力同时蚀刻介电、金属或两者。它利用了一个可以定制以适应各种应用程序的两步过程。蚀刻速率可通过编程调节，可实时监控。该工具的ASHING工艺旨在均匀地蚀刻和去除晶圆表面的光敏涂层。该工艺采用CleanScribe Technology，帮助均匀地去除光刻胶，同时避免损坏晶片。增加专用的ETCH/AIR压缩机和DI/N2保护装置有助于保持腔室清洁，确保可靠、无污染的过程。该工具还具有进行各种升级和添加的潜力,允许根据制造商的特定应用程序进行进一步定制。TEL INDY PLUS B-M Etcher/Asher采用三阶段工艺和可定制配置,是各种电子制造应用的理想选择。它提供快速、高效的处理,并且能够满足任何给定作业的确切规格。通过利用最新的蚀刻/灰烬技术,这种先进的工具能够快速可靠地满足最苛刻和精确的要求。
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