二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293649725 待售

TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M
ID: 293649725
晶圆大小: 12"
Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是TEL开发的高级蚀刻设备,提供最高水准的蚀刻精度、速度和精度。它是一个高效可靠的系统,是寻求提高吞吐量和提高准确性的半导体公司、研究机构和大学的理想选择。TEL INDY PLUS B-M可以完成广泛的应用,包括浅沟蚀刻、细小缺陷和纳米尺度的隔离区域。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M单元的特点是三合一组合的蚀刻器,一个asher和一个敏感器。它的三个核心组件各具有先进的技术,以确保所有蚀刻和灰化过程的最佳性能。该机还包括一个精确的高度传感器,以确保精确的蚀刻高度,以及一个大型多板储物柜,用于存储件之前和之后蚀刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M配备了提高表面质量和蚀刻深度的化学机械抛光工具,以及确保精确气体分布的真空工具。其先进的蚀刻器具有极好的精度,保证精度为0.5um,而asher资产则配备了高速、高容量的特性,以保证高速蚀刻和ashing操作。此型号的最大灰化率为333晶片/小时,精度高达0.5 μ m,可满足各种蚀刻需求。INDY PLUS B-M还具有全自动操作功能,可改善对数据和报告信息的访问。此设备能够进行自我诊断,以检测任何可能损坏的蚀刻过程,从而实现实时校正和反馈。它用户友好,使操作员能够轻松地从集中控制台监视和控制参数。此外,其先进的软件和控制系统可以在整个蚀刻过程中实现精确的控制和灵活性。总体而言,INDY PLUS-B-M是一种先进而可靠的蚀刻器、粉碎器和感受器系统,可提供最先进的精度和准确性。其用途广泛、用户友好的设计使得它成为许多应用蚀刻工艺的理想选择,无论是在半导体制造操作还是研究实验室。
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