二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293656658
优质的: 2010
Furnace
Process: LPCVD, Poly
Hard Disk Drive (HDD)
Load port
Carrier transfer
FIMS
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
VMM-56-201 Heater
Process: LPCVD, Poly
N2 Load lock
Load port
HTR
Exhaust box
Power box
Front and reer upper cover
Final valve box
Wafer transfer
Carrier transfer
Gas flow chart
O2 Analyzer
Does not include HCT
Si SEMI STD-Notch, 12"
M780 Furnace temperature controller
User interface:
Pressure display Unit: MPa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Carrier stage capacity: 16
Fork material: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
RCU
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
MFC Z500 IGS Final filter, regulator
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 3-Phase
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M蚀刻器（又称asher）是一种高度先进的半导体加工工具，专为高通量应用而设计。该设备为各种基板提供了卓越的控制和可靠的精度，从厚膜光刻胶到薄膜金属互连。TEL INDY PLUS B-M蚀刻器的主要特点是其独特的设计结合了KOS（已知氧化带）和MPT（多图样技术）两种处理技术。KOS技术使用高速等离子束，能够去除晶圆表面的有机污染物。这种工艺非常适合氧化物去除、氧化物脱墨或氧化物剥离等应用。另一方面，MPT技术利用能量较低的光束和较高的蒸发气体压力将高密度模式蚀刻到基板上。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M的设计是在保持品质的同时削减加工时间。它利用计算机控制的软件，允许用户根据自己的需要对蚀刻设置进行编程。该软件还集成了高级软件例程，以帮助用户快速准确地选择特定类型应用程序的设置。此外,TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有一系列选项,允许用户选择特定过程的设置,如模式密度、定时、气体类型和气体流量。INDY PLUS B M还附带各种外围元件和传感器，帮助用户控制和监控蚀刻过程。该系统包括一个先进的光学高温计，用于测量晶圆温度，并允许用户相应地精确调整蚀刻参数。此外,该设备还具有各种安全功能,例如防撞机、防止潜在高压弧灾难的传感器,以及在出现问题时通知操作员的报警工具。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M蚀刻器是寻找可靠、精确蚀刻资产的半导体公司和研究机构的理想选择。它提供了以高通量和精确度处理各种基板的能力，使其成为广泛应用的理想工具。
还没有评论