二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293665668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一种蚀刻器（又称asher），设计用于半导体IC加工和器件制造的制造设施。它是一种单晶片加工工具，能够同时生产薄膜和厚膜IC。该装置由不锈钢构成，具有两个独立的卡带室和一个晶圆传递室。TEL INDY PLUS B-M可以在一个站上同时处理多达25个晶圆，提供卓越的吞吐量和无与伦比的能效。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M配备了PLC（可编程逻辑控制器）和人性化的触摸屏显示屏，为操作员提供了全过程控制。可以通过内置PC跟踪和记录过程和结果。此外,设备还可以与外部计算机连接以进行进一步处理。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M配备了两个独立的CFEEC（化学流动蚀刻引擎&Coaters）单元，每个单元包含三个侧面安装的20 cm吊舱。CFEEC设备可提供最多八种不同的蚀刻和沉积配方,以及最多三种氧化物薄膜环形蚀刻操作选项,从而完全控制蚀刻和沉积速率。此外,设备是完全分段的,因此可以在每个晶片的基础上分别控制工艺配方步骤和参数。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M可以配置为整合到许多高级工艺线和应用中。它完全可定制,并提供多种配件,使其能够用于各种应用,包括等离子体蚀刻、剥离、衬垫封装和金属沉积。它还能够提供一致的蚀刻和存款利率以及极高的可重复性。总体而言,TEL INDY PLUS B M承诺为半导体IC制造和设备制造的应用提供用户友好的操作、精确的过程控制和高效的操作。它是一种紧凑、功能强大的设备,对任何生产设施都是一种宝贵的资产。