二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款具有先进特性的高端蚀刻器/asher，非常适合工业和科学应用。其特点包括：一个91 x 52厘米的加工室，可选择扩展到119 x 62厘米。一种电源,允许高达120瓦的功率,用于蚀刻和灰化过程。可容纳多达21个晶圆的双预热和后加热炉。多个射频发生器输出,可针对特定蚀刻和灰化过程单独编程。微波灰化功能,具有可选的微波功能。一种先进的压力系统，可以实时监控，在蚀刻和灰化过程中准确控制压力。自动清洗，具有控制清洗气体的压力、温度和流量的能力。一种触摸屏用户界面,允许用户轻松配置其蚀刻和灰化过程,并监视其过程的进度。可以用来监视处理室状态的多个传感器，包括温度、压力和流量。一个包括空气洗涤器系统，它有助于去除颗粒物污染物和提高晶圆质量。TEL INDY PLUS B-M旨在提供一贯优异的效果,维护要求低,预期寿命长。它的设计也考虑到了易用性、清晰直观的用户界面。其众多的特点使得它成为工业和科学应用的理想选择，从蚀刻和灰化到先进的工艺控制。