二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 待售
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ID: 293763487
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款为高精度、大批量生产微元件而设计的蚀刻器/asher。该设备专为专业生产设施而设计，是一种可靠的口罩、板材蚀刻和灰化工艺控制装置。它能够为各种湿处理任务提供精确和可重复的结果。TEL INDY PLUS B-M使用包含在一个腔室内的等离子体发生器的多腔室蚀刻电池运行，而要蚀刻的晶圆则包含在另一个腔室内。这允许过程同时进行,并确保对过程参数的高度控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有一系列安全功能,可防止开门、过温和压力以及其他电子事件造成的过程损坏。此外，该系统经认证符合IEC 61010-1标准，以确保在任何实验室环境中的可靠运行。此外,该设备效率高,工艺重复率达95%.因此,该机器非常适合于高通量的生产过程,并为多种类型的蚀刻过程以及灰化产生非常精确的结果。除了高品质的成绩外，INDY PLUS B M的设计提供了许多方便的特性。例如,它具有可配置的图形用户界面（GUI）,允许为自动蚀刻过程编程参数,以及方便地查看进程状态。再者，它的接口可以链接到各种其他系统如EDX、Rhythmlogics等等。这允许与内部和第三方系统集成,从而提供了极大的灵活性。该工具还包括独特的设计,允许引入新的工艺步骤参数,如电压、压力和温度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M是专业生产设施需要打造高精度、大容量微元件的理想蚀刻器/asher。它提供了可靠的过程控制、高度的可重复性以及链接到各种其他系统的能力。此外,它还提供了易于配置的图形用户界面和引入新的过程步骤参数等方便的功能,提供了极大的灵活性,使其成为同类系统中最通用的系统之一。
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