二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293798907 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是由TEL（TOKYO ELECTRON）设计建造的蚀刻器/asher。它用于半导体器件加工中的蚀刻和灰化工艺.TEL INDY PLUS B-M凭借其高分辨率和卓越的性能能力,提供了卓越的工艺性能。蚀刻器/asher在晶圆尺寸和工艺方面提供了高度的灵活性,允许用户为其特定工艺选择合适的工具。该工具利用TEL/TOKYO ELECTRON独特的高分辨率投影光学器件，结合精密运动控制，在所有工艺类型中实现优越和精确的过度蚀刻性能。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M通过其机器设计和软件工具设计，满足各种蚀刻和灰化工艺的苛刻要求。它可用于广泛的蚀刻和灰化应用，包括浅沟槽隔离（STI）、深反应性离子蚀刻（DRIE）、导电绝缘蚀刻、定向蚀刻和塑料蚀刻。TEL INDY PLUS-B-M利用TEL定制组件陶瓷针式装卸卡带，从而为用户提供增强的晶片装卸。陶瓷针式装卸盒也减少了晶圆制备的停机时间。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M由于其高分辨率的投影光学器件和能够精确控制其运动以获得更好的过度蚀刻性能而被设计为在蚀刻和灰化过程中提供卓越的性能。它还具有基于Web的现场服务功能,使用户能够远程访问诊断信息。利用其先进的软件工具，用户可以轻松地为自己的流程选择合适的参数，并有效地监控系统性能。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M是一个安全可靠的系统，得益于其稳健的设计和高度可靠的元件。它还具有远程监控的功能,因此用户可以快速准确地诊断系统的任何问题。总之，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M是一款先进的蚀刻器/asher，由于其高分辨率的光学元件、精确的运动控制和可靠的元件，提供了卓越的工艺性能。它还能够进行远程监测，包括基于网络的外地服务能力。