二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #9381843 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款高性能的蚀刻器/asher，旨在满足最先进的半导体器件制造的需求。TEL INDY PLUS B-M利用革命性的液相蚀刻工艺来实现对蚀刻特征尺寸和形状的精度和控制。这一独特的功能让TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M可以在短短几分钟内用金属硬掩模或有机硬掩模与紧CD控制产生特性。双非均匀梁角的集成提供了较高的特征质量。这样可确保在大型特征尺寸上均匀蚀刻,并具有最小的底切或侧壁粗糙度。TEL INDY PLUS B M的工艺灵活性因其广泛的工艺气体包括 、 、 、SF6和 而得到进一步增强。这促进了多种沉积技术，包括Multi-Dep和Arealuzion、多晶硅LPCVD和各向异性干蚀刻等。INDY PLUS B-M还具有专有的基板和压板冷却功能，以防止热损坏并降低背蚀的概率。INDY PLUS-B-M旨在提供更高的吞吐量和减少停机时间。它具有广泛的亚纳秒脉冲能力，可用于将蚀刻能量引导到特定的工艺区域。这样可以加快蚀刻周期,使机器能够用于更广泛的工艺配方。机器的模块化设计允许快速交换过程模块，从而提高基材吞吐量，增加操作员节省设置时间的时间。最后，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有局部射频等离子体源和集成离子源，以增强沉积均匀性和重复性。与同一类别的蚀刻器相比,RF系统提供了扩展的过程控制灵活性。综上所述,INDY PLUS B M是一种多功能的蚀刻器/asher,可提供过程灵活性、增强的吞吐量和可重复的性能。其独特的液相蚀刻工艺具有较小的特征尺寸和紧密的CD控制，包括可调光束角和基板/板材冷却。它的快速亚纳秒脉冲允许多过程配方，而其集成的射频和离子源提供了更高的精度。这种先进的蚀刻器/asher非常适合生产复杂的半导体器件。