二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293587429 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蚀刻器/asher，旨在提高生产吞吐量，同时保持高精度和重复性。Asher利用紧凑的足迹,便于安装和快速转换。它具有广泛的蚀刻工艺，可用于各种应用，包括金属痕迹、多氯联苯和MEMS。TEL INDYPLUS配备了动态实时反馈系统和快速、准确的流程窗口以及可重现的流程。该蚀刻器的子机位提供X-Y-轴和Z轴运动,可对最小模式尺寸为3 µm的特征进行精确和可重复的阵列处理。分站具有高加速度、极好的位置精度和平滑安静的运动。为减轻因工艺环境或电迁移而产生的真空压力误差，该蚀刻器具有提供稳定准确性能的超精密PID线性执行器。其先进的成像功能可实现快速对齐和提高生产吞吐量。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了可定制的工艺配方，允许不同的蚀刻化学。其直观的用户界面提供了对所有参数和配方的轻松访问，简化了设置和过程控制。它还具有内置的Smart Erosive Monitor,可实时监视、可视化和记录蚀刻工艺条件,从而允许高度可重复的蚀刻条件。该系统还具有高级自动调整算法,该算法进一步简化了配方设置和调整,以便在本地或整个产品线中保持最佳性能。蚀刻机可以用于各种工业环境，无论是生产车间还是研发设施。内置的安全功能为用户提供了一个安全、安全的操作平台以及在低压或电源中断时的自动关闭功能。TEL Indy Plus还通过了CE和RoHS法规认证。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS被设计为可靠、直观且经济实惠的蚀刻器/asher。它非常适合广泛的生产应用程序,为用户提供更好的生产吞吐量、准确、可重复的过程以及总体出色的蚀刻体验。