二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种用于生产半导体器件的蚀刻器/asher。它用于在晶片上蚀刻/灰层光刻材料，以便在晶片上创建各种特征。该工艺被称为光刻，是制造半导体器件的关键步骤。TEL INDYPLUS具有VariBeam™的单列光学柱,提供卓越的性能和准确性。该柱能够精确蚀刻精确的几何形状。由于它的高分辨率、在较高的光束电流下进行蚀刻的能力以及它集成到蚀刻加工工具的常见环境中，它提供了高度的多功能性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还具有多种其他特性，例如25千伏电势隔离偏置电极，一个健壮的监测系统，以及在蚀刻和灰化过程中控制温度和大气。这使得光刻层能够精确、稳定地蚀刻和粉刷。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了自偏置校准和自束电流校准，以确保蚀刻和灰化工艺的高质量。这些功能允许操作员设置目标电压、光束电流和轮廓,Indy Plus将自动调整以进行优化。采用最先进的计算机控制，INDYPLUS还可以在蚀刻和灰化过程中测量和调节温度、酸度和压力。这确保了每个晶圆循环都是可重现和均匀的。TEL Indy Plus 蚀刻器/asher是创建质量最高的精确几何的完美工具。它在各种过程中提供稳定的操作，其特点使其成为创建半导体器件的可靠工具。TEL自豪地提供INDY PLUS 蚀刻器/asher,为生产优质半导体器件设定行业标准。