二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596082 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是在集成电路（IC）製造过程中使用的蚀刻器/asher，透过有选择地移除材料，在基板上建立特徵图样，例如栅极和互连接线。它是一种工具,在实现低边缘粗糙度和精确轮廓控制的精确特征尺寸方面起着重要作用。TEL INDYPLUS是一种湿蚀刻设备，意味着采用离子溶解工艺。该系统可以处理有机和无机材料，如硅、铝、磷化硼和石英。该单元还可以一次蚀刻多层，从底部一直到基板顶部，使其成为IC制造中非常通用的工具。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了最先进的技术，例如先进的工艺控制和专有的红外特征识别单元，可以检测放置在基板上的小特征。由于其强大的蚀刻能力，以及集成的多射流离子束植入和激光机器，该机器还能够具有精确的尺寸和形状。Indy Plus拥有用户友好的控制工具，配有4.3英寸触摸屏面板，使用户能够设置不同的流程条件，使用起来简单直观。资产还包括一个高速数据收集单元，可以收集过程数据，并在每个蚀刻步骤进行过程中提供实时反馈。此外，该型号还配备了一系列防腐蚀措施，保护设备免受被捕获气体和颗粒物污染造成的损害。这包括一个综合过滤系统，过滤微粒，并从蚀刻室中清除杂质，确保清洁和精确的蚀刻结果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS是IC製造的重要工具，并因其精确度和重复性而日益普及。通过提供具有低边缘粗糙度的精确特征尺寸和形状,以及先进的工艺控制功能,该设备为希望生产高质量IC元件的制造商提供了一个有利的选择。