二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款专为制造半导体器件而设计的全自动蚀刻器/asher。该设备是一种高度可靠、最先进的蚀刻/热氧化物工具，可用于石英、硅、铝等基材的加工。TEL INDYPLUS具有直观、用户友好的触摸屏控制面板,可轻松监控内部操作、设置条件和故障排除。可以设置各种系统警报和警报,以将任何问题通知用户。TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用工艺控制的气体分配单元和独特的前体浓度采样方法，能够精确控制蚀刻过程和气相化学。TEL Indy Plus设有两个加工室。第一种是基板室，其中蚀刻速率受压力和温度控制。二是热氧化剂，其中氧化可以通过温度和时间来控制。TOKYO ELECTRON Indy Plus有一个可容纳最多四个基板的单个口袋面板，允许晶圆直径在2"到6"之间。该机器能够在高达900°C、低至-20°C的温度下运行。TEL INDY PLUS能够在一次运行中执行多个过程,包括蚀刻清洗、剖析和隔离蚀刻,用于浅层沟槽隔离（STI）和其他高纵横比蚀刻。此外，还可以进行扩散、热氧化等多种蚀刻后过程。该工具还包括气体排气、挡板隔离和隔热屏蔽等多项安全环保功能。总体而言,INDYPLUS是一种可靠且用途广泛的工具,具有一系列优点和功能,使其成为半导体制造的理想选择。它拥有一套全面的参数和能力，使其成为进行各种精确度和重复性极高的蚀刻过程的完美选择。