二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627973 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蚀刻器（又称asher），由领先的半导体设备公司、三菱UFJ金融集团成员TEL创立，总部设在日本。它结合了最新技术,提供高精度蚀刻和一套全面的功能,以满足各行业客户的需求。TEL INDYPLUS在一个易于使用、经济实惠的平台上提供精密蚀刻的精细特征尺寸和高精度平坦度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一种石英冷壁蚀刻器，使用汽化气金属化学气相沉积（VMCVD）工艺，用光刻胶或其他层覆盖晶圆表面，然后用INDY PLUS蚀刻掉。INDYPLUS具有多种蚀刻技术，包括反向离子铣削（RIM）、离子铣削（IM）和化学机械平面化（CMP）。某些型号的蚀刻速率高达每秒20,000 Ångstroms（Å/秒）,可提供高精度和高分辨率。TOKYO ELECTRON Indy Plus具有广泛的功能和选项,包括高级过程控制和数字自动化。机载先进工艺控制系统允许用户实时调整蚀刻参数，优化蚀刻工艺，提高精度和重复性。数字自动化提供灵活的错误检查功能和自动化模块，使用户能够轻松编程蚀刻过程和跟踪过程变化。用户还可以利用TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS的高级安全功能。其多种安全特性包括带安全联锁的封闭式腔室、守卫的检修面板、紧急停止开关和紧急自动关闭系统。Indy Plus还具有许多诊断功能,包括温度和压力传感器,以帮助确保适当的操作条件以获得完美的蚀刻结果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS专为方便维护和用户友好操作而设计。它的防静电和抗振动设计有助于保护机器免受碎片和灰尘污染，而它的用户友好界面允许快速和方便的设置和操作。TOKYO ELECTRON INDYPLUS也与多种TOKYO ELECTRON真空管理系统兼容，提供全面灵活的真空系统。这些功能结合三年保修,使TEL INDY PLUS成为满足蚀刻需求的理想选择。