二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款为高级半导体加工而设计的蚀刻器/asher。它是对标准TEL Indy型号的升级，由精密真空室、工艺站和自动化工艺控制器组成。这种蚀刻器/asher促进了半导体器件制造中所用的干蚀刻工艺。TEL INDYPLUS用于光刻、光刻灰泥、干蚀刻、离子植入和离子束表面加工。它能够处理这些操作中使用的气体和溷合物，并提供高速、高精度的全局对准，用于解析亚微米模式。此蚀刻器/asher使用高级工艺均匀地蚀刻具有高质量曲面的多个区域。它具有高速全局对准显微镜、200 nm级运动精度和漂移补偿特性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还为蚀刻工艺提供了卓越的重复性，提高了并行蚀刻的吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS的腔室能够达到10mTorr或更小的基本压力,并且与标准的Indy蚀刻器或其他蚀刻器/asher模型相比,可以提供更短的疏散时间。腔室设有交流感应磁控管溅射装置和热辅助CVD金属沉积装置。TOKYO ELECTRON Indy Plus可容纳300毫米晶圆，并通过气体过滤系统和多气体输送单元的气体淋浴设备维护清洁环境。这台机器保证了腔室不受污染，从而提高了蚀刻精度和吞吐量。Indy Plus能够处理高长宽比蚀刻，还能进行高达几百纳米厚度的蚀刻。这种蚀刻器/asher可以一次处理多种材料，使其适合各种工艺应用。此外，INDY PLUS与各种IPEC蚀刻化学体系兼容。INDYPLUS对用户友好,并提供可升级的改进设计,使其成为那些寻求多功能蚀刻器/asher的用户的经济实惠的选择。蚀刻器/asher还配备了安全功能，以确保人员安全，防止潜在事故发生。