二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高级蚀刻器/asher，专为半导体制造业的应用而设计。它是一种高度先进的设备，具有精确的光束控制能力，能够进行各种蚀刻和灰烬处理。该系统同时利用直轴梁控制（DABC）和反轴梁控制（IABC）功能。它还配备了高速成像单元和专有的光刻软件。TEL INDYPLUS机器支持批处理和单晶片操作模式。在批量操作模式下，一次运行最多可容纳200个晶圆。此模式允许用户通过执行自动化过程而无需手动加载来提高吞吐量和生产率。该工具还具有确保均匀蚀刻和灰分结果的高级调平能力。资产包括一个称为均匀高等离子体（UHP）腔室的专用腔室设计，它通过增加等离子体源数量和创建对称等离子体压力剖面来控制蚀刻和灰烬过程。这有助于降低蚀刻和灰化不均匀的可能性,从而提高可重复性和产量。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS型号还配备了Cleaning to Etch（C2E）功能。此功能使用户能够自动设置一系列过程步骤,如清洁、蚀刻和灰化,以提高效率。Indy Plus设备也是为了最大的安全性而设计的。它带有一个警报系统，用于监测过程环境，包括温度和压力。在紧急情况下，该装置还具有自动关闭功能。总体而言,INDYPLUS机器是为半导体制造而设计的先进、高效的蚀刻器/asher。它提供精确的光束控制、高速成像、均匀的高等离子体腔、清洁到蚀刻功能,以及用于监控过程作业的报警工具,使其成为任何应用的可靠可靠的资产。