二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649525 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种半导体微电子处理设备，利用高效蚀刻/灰化工艺。该系统能够蚀刻/灰化各种不同的材料，包括一系列的硅、硅氧烷和其他各种半导体材料。这种蚀刻/灰化单元在蚀刻和或灰化小特征尺寸时特别有效，这使得小型探测器、晶体管和其他半导体器件的处理成为可能。蚀刻/灰化过程包括几个精确控制的步骤。这些步骤被设计为在蚀刻过程中获得均匀性，这是产生可靠和一致的微电子器件所必需的。初始工艺步骤采用汽化器，以三维汽化模式对目标材料进行汽化。其次是燃油喷射机，它向沉积的材料提供额外的热能，以增加解离速率。为了使该过程均匀，高强度激光束被引导到基板上，以便在特定地点有选择地加热目标材料。一旦施加热量，蚀刻材料就暴露在等离子体环境中。这种环境导致物质进一步解离成成分分子。通过精确控制等离子体腔内的条件，可以选择性地蚀刻掉组件。蚀刻/灰化过程还能够以非常受控的方式去除材料。这是通过使用高功率清扫梁工具来实现的。梁按顺序穿过基板表面,这会导致材料逐渐被移除。最后,使用组合资产来组合蚀刻/灰化过程的各个组成部分。该模型包括一个自动控制面板，它允许对整个过程进行单独和完整的控制。控制面板用于设置蚀刻时间、等离子体温度、压力和激光功率等参数。TEL INDYPLUS是一种高效的蚀刻/灰化设备,为不同的材料提供多种高级蚀刻工艺。该系统旨在为生产高质量可靠的微电子器件提供高效、精确的蚀刻工艺。