二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649527 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是由全球领先的先进半导体生产设备供应商TEL （TOKYO ELECTRON）开发的着名蚀刻/灰化设备。这种最先进的系统旨在通过等离子体活化的化学物质对各种常用的半导体材料进行精确的图桉、蚀刻和微型化。这些包括多晶硅、聚酰亚胺、氮化硅、氮化物蚀刻和多掺杂硅。TEL INDYPLUS蚀刻/灰化工艺包括两个步骤：预蚀刻和后蚀刻。预蚀刻过程使用感应耦合等离子体（ICP）源产生半导体材料蚀刻构型所必需的离子。此阶段为基板的所有目标表面提供均匀、高质量的蚀刻。对于后蚀刻过程，TOKYO ELECTRON INDY PLUS单元具有令人印象深刻的数字增强推导各向异性（DEDA）。这一有价值的特性为基板的目标表面提供了高度精确的蚀刻。这种精密蚀刻使得INDYPLUS机器能够达到高达5纳米的分辨率。此外，INDY PLUS采用了基于穿孔的几何形状，这确保了流向蚀刻区的气体高度均匀。这种均匀性保证了整个过程中可重现的蚀刻模式。Indy Plus还配有一个高分辨率显微镜工具，用于检查蚀刻图桉。它支持实时成像,并允许用户监视其蚀刻过程的进度,以及检查是否存在缺陷和其他缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS资产还包括一个快门检测模型，该模型可防止辐射在快门关闭时通过设备。总而言之，TOKYO ELECTRON Indy Plus系统提供了在广泛的基板上制造微观结构和纳米尺度特征的完美平台，具有很高的重复性和准确性。通过其先进的技术和蚀刻能力，它提供了卓越的性能，非常适合先进的光刻、MEMS器件和集成电路开发等一系列应用。