二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649534 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高级蚀刻器/asher,具有多种功能,旨在提供精确的结果。这种精确的蚀刻设备采用300毫米、六室设计，符合最新技术，提供最高水平的可重复性和均匀性。TEL INDYPLUS配备了可视化和精密蚀刻的高分辨率成像设备，包括40兆像素数码成像相机，能以4k分辨率可视化蚀刻过程。五个地方供热站均匀分配温度，传递均匀蚀刻功率。双级射频信号在整个蚀刻过程中产生稳定且可重复的偏置条件。整个环境控制系统，包括空气处理，也进行了优化，以提供稳定、原始的蚀刻环境。TOKYO ELECTRON INDY PLUS单元以全自动模式运行，使蚀刻工艺更加容易和高效。蚀刻配方的每一步都用测量高度、温度、气压和其他参数的多个光学传感器进行监控。这样可以在步长和蚀刻深度上实现精确的重复性。该机还拥有一个真空工具，确保低热扩散，消除任何温度偏差蚀刻过程中。Indy Plus 蚀刻器/asher的设计易于安装和维护。高级软件套件包括直观的操作员界面、用户友好的数据收集技巧,以及用于远程诊断功能和故障排除的可选远程访问。该资产还为不同类型的工艺配方提供了预定义的过程，从而更容易入门并获得所需的结果。由于其多种特性和能力，TOKYO ELECTRON INDYPLUS 蚀刻器/asher是实现精确蚀刻结果的必备机器。