二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种蚀刻/asher设备，用于处理半导体和器件应用的先进基板。TEL INDYPLUS能够高度精确的阵列化过程,并利用高级软件算法在整个过程中优化蚀刻和灰化过程。TOKYO ELECTRON INDY PLUS系统的设计可处理宽高比蚀刻、底切蚀刻、金属氧化物半导体蚀刻和表面光滑蚀刻等多种工艺。它具有一个大面积沉积源，与两个子源和两个独立的直流等离子体源并列。这些双源提供比单源系统更高的产量，使其成为大规模生产的理想选择。控制TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS的软件旨在确保在蚀刻和灰化过程中对基板进行完整的控制和精确的图桉。它使用ActiveX SDK对整个蚀刻和灰化过程进行完整的神经网络控制。这允许基于过程中受监视的反馈进行动态参数设置。此外，INDY PLUS提供了一个直观的图形用户界面，具有易于使用的三步配方编程用户界面。这使得单位的操作对用户来说简单明了。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS包含了许多先进的工艺、安全和安全功能,以最大限度地提高吞吐量并最大限度地降低风险。机载安全机器包括对所有主要工艺室进行独立的温度监测。此外，它还包括一个内置的可燃气体检测工具，低电压保护和低流量检测资产。所有这些功能都是为了确保TEL Indy Plus型号安全可靠地运行。此外,它还包括一个安全的单用户访问设备,以防止未经授权访问系统。总体而言,TEL INDY PLUS是一个可靠且先进的蚀刻和灰化单元,可在整个过程中提供最大效率。凭借其集成的安全和安全功能,Indy Plus是生产和研究应用程序的理想选择。