二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293663052 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高性能、低维护的蚀刻器/asher,非常适合精密的金属蚀刻和清洁。它具有紧凑的设计,可提供较小的占用空间、高效的处理时间和大量高级功能。TEL INDYPLUS拥有一个12英寸(300毫米)负载锁水滴状的腔室,使其能够轻松安装到大多数实验室和制造设备中。它还具有TEL专有的线性共振磁场(LRMF)技术,提供了更加均匀和精确的蚀刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS的高性能设计也让它以更高的精度实现更快的处理时间,非常适合大型生产运行。INDY PLUS还提供了多种高级功能,包括低温兼容性、确保均匀蚀刻的可转动源叶片支架以及先进的气体输送系统。其用户友好的图形用户界面(GUI)使设置和过程监控变得简单直观。此外,Indy Plus还配备了多波长光学端点检测功能,能够检测厚度和厚度变化范围广泛的目标薄膜。最后,TOKYO ELECTRON INDYPLUS被设计为TOKYO ELECTRON "as found, as left" chamber cleaning methody,允许快速、轻松的清洗,并且不需要单独清洗人员。这有助于确保高度均匀的蚀刻,并最大程度地减少大型生产运行过程中的污染。总而言之,TEL INDY PLUS是一款先进且可靠的蚀刻器/asher,能够以高吞吐量提供精确的结果。它的直观界面、低维护设计和高级功能使其非常适合各种应用,从半导体加工到计量。
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