二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款为任何加工项目带来精度和速度的蚀刻器/asher。该机具有精确度高、吞吐量高的高精度蚀刻工艺.TEL INDYPLUS采用溷合电化学（电化学沉积）技术，能够在低气体消耗和良好选择性的情况下实现快速蚀刻。这款蚀刻器/asher专为各种材料的精密蚀刻而设计，包括金属、绝缘体薄膜和印刷电路板。TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用其微成型技术,具有控制高长宽比特征尺寸到0.2 μ m的蚀刻和沉积的能力。这种通用设备有助于提高流程可靠性和可重复性。Indy Plus还提供了一个用户友好的界面，使蚀刻过程的设置和编程变得容易。机器的过程选项包括时间和电流控制程序、ADL（自动沉积限制）控制程序以及其他高级控制功能。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS还支持高达16 µm的蚀刻层，包括任意角度、横缝和阶梯式蚀刻。INDYPLUS配备了支持180nm至65nm技术节点兼容性的半导体前端模块。前端模块用于碱蚀刻、预图样等离子体蚀刻和后蚀刻清洗过程。此功能允许用户优化直流电压蚀刻和脉冲RF/DC蚀刻过程。TEL Indy Plus包括一个腔室出口系统，保持腔室清洁和压力控制。该系统有助于保持稳定的工作温度和压力,有助于避免导致蚀刻过程缺陷的因素。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS还有一个先进的真空系统，优化晶圆蚀刻均匀性以获得一致的结果。自动晶圆级倾斜和旋转刀具到刀具也可用于提高蚀刻产量。这种蚀刻器/asher具有优越的均匀性、稳定性和薄膜特性，使其成为各种蚀刻工艺的可靠选择。TOKYO ELECTRON INDYPLUS易于安装操作；它是一种经济高效的解决方桉,适用于生产线或研发实验室。