二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670480 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种用于半导体和MEMS器件制造的蚀刻器/asher。TEL INDYPLUS是一种先进的工具,旨在在严格的过程控制下蚀刻各种材料,从而实现高通量设备的制造。利用化学蚀刻和物理蚀刻技术的先进组合，TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供了两全其美，确保了高度精确的结果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有广泛的特性，可以与多种材料配合使用。它既支持湿蚀刻又支持干蚀刻，可以蚀刻金属、聚合物、硅、氧化铝、电介质等各种材料。这使其成为经典半导体应用和MEMS制造的理想选择。TEL Indy Plus配备了广泛的控件和仪器，以确保精确的蚀刻结果。它能够精确控制其等离子体腔的温度和功率，同时也保持稳定的工作环境。此外，它的腔室压力可以很容易地调整，以满足不同基板的要求。该工具具有四轴晶圆处理系统,具有高负载能力,可实现最高精度。它包括一种二维扫描模式功能，可用于精确蚀刻复杂的模式，如MEMS结构。此外,它还具有两个电子喷枪,可以在整个晶圆表面均匀蚀刻.它有一个紧凑的设计，最小化了一个晶圆厂的空间要求，其耐用的结构被设计成经得起延伸使用。此外，它具有较低的底压，使其能够快速准确地蚀刻材料，而不会造成污染的危险。除了低污染风险外，Indy Plus还拥有易于使用的图形界面。这允许更高效的操作，接口允许实时数据和设置监控。此外,TEL INDY PLUS能够与流程中的其他设备集成,从而实现自动蚀刻。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS是广泛的半导体和MEMS製造应用的理想蚀刻器/asher。TOKYO ELECTRON INDYPLUS具有广泛的特性和精确的控制,可实现最精确的高通量设备制造。