二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款为先进的半导体制造应用而设计的蚀刻/asher设备。TEL INDYPLUS配备了专门的软件、组件和功能,在将功能蚀刻和灰化到基板上时可实现极高的精度。蚀刻的第一步是制备基材。TOKYO ELECTRON INDY PLUS将具有可定制的基板支架，能够在蚀刻前放置和调整芯片的正确定位。这确保了最佳的结果与最小的残留有毒粉末。一旦基板到位，蚀刻最初是使用传统的粘性石英或电感耦合等离子体（ICP）工艺触发的。石英蚀刻过程中，对等离子体配置参数，如气压、流量、频率等进行调整，以允许蚀刻速率最大化。在ICP过程中，调节波的压力、频率和形状，以诱导最高的蚀刻速率。TOKYO ELECTRON INDYPLUS配备了多个高温气体喷射器，以优化蚀刻条件。可以对蚀刻和灰化过程进行高级温度控制,以实现完全自定义的结果。为防止浪费，陷阱系统在蚀刻过程中隔离和处理废气，尽量减少对环境的影响。INDYPLUS实时数据日志记录可用于所有变量,并且可以下载以供以后查看。蚀刻过程完成后，用干法或湿法清洗基板。此过程决定蚀刻的质量,并清除不需要的残留物。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS提供了集成的高级残留检测功能,并且可以允许去除基板,也可以在需要时进一步灰化。TOKYO ELECTRON Indy Plus 蚀刻器/asher单元是先进半导体器件制造和蚀刻的创新工具。INDY PLUS具有先进的组件和可定制的选项,是任何高级制造过程中的完美蚀刻器/asher机器。