二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670482 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种蚀刻器，或称asher，它使特征的精确模式能够被蚀刻到晶圆/基板上。这种设备是制造半导体、光伏和相关晶圆加工等微电子器件所必需的。它采用电子束抗蚀性制图工艺对基板进行精确蚀刻，能够产生任何设计的优质制图。TEL INDYPLUS利用电子束源对电子晶片进行抗蚀刻。这种设备经过精心设计，以确保高精度的图样与最小的失真和像差。为了实现这一点，电子束源被设计成产生一个均匀、稳定的所需能量束。精细聚焦的电子束然后被用来蚀刻一个精确图案的抵抗膜到晶片上。TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有先进的等离子体蚀刻工艺，可以在基板上形成图样。这一过程基于一组独特的基于等离子体的气体所促成的平衡化学。这些气体经过精确溷合，以确保蚀刻结果始终是最佳的。这一工艺得到了控制良好的温度条件的进一步补充，从而实现了蚀刻工艺的最大效率。INDYPLUS的设计考虑到了多功能性和用户友好的界面。它具有直观且易于使用的触摸屏界面,使用户能够快速准确地执行许多蚀刻周期。该界面还提供了大量有关蚀刻过程的反馈-从监控过程参数到可视反馈。这使用户能够轻松监控每个蚀刻周期的进度。总体而言，TEL INDY PLUS是制造微电子器件和晶圆加工的理想蚀刻/闪光解决方桉。这种高精度的蚀刻装置能够在任何设计上创建精确的图样，并辅之以直观的触摸屏界面和平衡的化学反应，以获得最佳的蚀刻结果。