二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus蚀刻器是一种最先进的半导体加工工具，设计用于蚀刻、各向异性蚀刻和表面清洁应用。该设备在氧化物蚀刻、S层蚀刻、铜蚀刻和其他高级蚀刻和清洁操作等半导体工艺中提供最大精度和可靠性。其独特的设计理念将最先进的特性和技术整合到一个完整的单一包中,从而简化了整个过程并降低了拥有成本,同时提高了效率和成本节约。TEL INDYPLUS由一个紧凑的软件包组成,旨在轻松集成到现有的清洁室环境中。该系统包括自动化控制、可靠监控和灵活的配置选项。该单元还具有动态压力控制、高速旋转、延长射频功率范围调节、软件升级兼容性、简单配方控制等特点，具有更高的精度和重复性。最先进的蚀刻器配备了高效的气体输送机，并提供各种反应性气体，如SF6、CHF3、CF4、C4F8、O2和Ar。它使用数控静电卡盘将晶片保持在精确的角度,并在一系列蚀刻和表面清洁应用中提供统一的处理参数。该工具的内部射频发生器可提供高达600 W的功率范围,并且可以根据优化的工艺结果轻松调整。添加强大的高压发电机的选项有助于定制蚀刻配方,以实现最高的效率。TOKYO ELECTRON INDY PLUS蚀刻器还包括离子抑制器、精确温度控制、目标压力控制以及3D激光干涉仪等多种先进功能，以提高精度和重复性。此功能有助于减少晶圆浪费并确保更可靠的最终产品质量。内置清洁剂还有助于清洁加工周期之间的晶片，有助于保持晶片的完整性。TOKYO ELECTRON Indy Plus蚀刻器是一种高度可靠且经济实惠的半导体蚀刻和表面清洁应用解决方桉。它提供了一个多功能的解决方桉,能够满足最高的处理要求,同时保持较低的拥有成本。该资产可以轻松地与现有的洁净室自动化系统集成,非常适合高容量和成本敏感的制造过程。