二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蚀刻器/asher，专为半导体晶片的高精度、高通量处理而设计。设备为工业级，重型框架，最大刚度和振动阻尼。具有温度控制技术，闭环控制系统，调制温度控制。该装置还设有一个机器人臂，使晶片和工件能够自动装卸。蚀刻器/asher在高级PLC软件上运行,该软件提供了一个全面的控制单元来管理操作并最大程度地减少生产停机时间。它能够在晶圆表面± 0.1-0.7um（微米）的范围内提供过程重复性和准确性。TEL INDYPLUS先进的蒸气蚀刻技术具有最小化存储不稳定和创建干净表面的能力。该单元设计用于各种蚀刻工艺：它可以处理不同的气体，提供可变的蚀刻速率，并提供高精度的微观结构蚀刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS符合EPA标准，具有最先进的减排技术。这些包括低流量和回收系统、等离子体变换和净化系统以及双泄漏探测器。它能够捕获和储存污染物，防止污染物进入当地环境。该机器包括多种安全功能，旨在最大限度地减少与危险材料相关的风险。TOKYO ELECTRON Indy Plus有备份工具、紧急停止按钮、无通风资产和自动监控。设备会持续监控其性能级别,以快速检测任何问题。最后,TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS易于使用和维护.它提供了一个触摸屏人机界面，允许用户以最小的努力和时间来设置和控制模型。所有组件也可方便地进行快速维护和保养。