二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293754740
晶圆大小: 12"
Furnace, 12" Process: TEOS Atomic Layer Deposition (ALD) Poly Nitride 2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一个精密的蚀刻和灰化平台,为用户提供高精度和精确度。它有助于创建公差为0.3-2微米的复杂几何。它非常适合航空航天、医疗和半导体工业。TEL INDYPLUS是一种蚀刻/灰化机,它将两个过程集成在一起,以获得最高质量的快速结果。它将蚀刻和灰化结合在一个单一的过程中,并且能够对多达两个层次的结构进行阵列化。TOKYO ELECTRON INDY PLUS的高精度和速度可以归功于两个主要成分:E-Gun和E-Pod。E-Gun使用高压产生电弧,在基板上蚀刻和灰化图样。另一方面,Electric吊舱加快了工艺速度,有助于将所需的蚀刻和灰烬时间减少相当多。它还有助于减少蚀刻/粉刷图桉中的非均匀性。INDY PLUS还配备了高性能CCD(电荷耦合器件)相机和激光检测技术,具有高精度的材料控制功能。这确保了高精度和精确度,因为相机能够检测到微妙的变化,如非均匀性、扭曲和应力变化。这些特性共同使TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS成为市场上最精确准确的蚀刻和灰化机之一。INDYPLUS也是一台非常灵活的机器,因为它可以针对包括硅蚀刻、蚀刻金属、反向蚀刻和浮雕蚀刻在内的一系列应用而量身定制所需的规格。此外,Indy Plus还支持Si、Ge、石英、Al和SiC等各种底物,确保进一步的灵活性。高精度、出色的工艺控制和灵活性使TEL Indy Plus成为航天、医疗和半导体行业用户的理想选择。TOKYO ELECTRON INDYPLUS集成了蚀刻和灰化工艺,从而提高了吞吐量,同时消除了许多与手动操作相关的错误。经济实惠的成本和高精度进一步增加了它的吸引力。
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