二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293758842 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高度先进的蚀刻/asher设备，用于生产高元素密度的先进集成电路。该系统基于真空沉积溅射单元，其中使用等离子体将金属膜蒸发到晶圆表面上。该机特别适合于以当前技术的10倍分辨率创建高精度、超密电路。TEL INDYPLUS采用了多种最先进的技术，包括TEL专有的直接离子溅射模块（DISM），用于高精度和高宽高比溅射。此外，该工具还配备了许多先进技术模块和专有软件包，以支持各种蚀刻过程。这包括Pre-Clean模块，允许在连续沉积或蚀刻之前清洗晶圆表面；Nano-Lith工艺控制模块，它对蚀刻工艺提供实时控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS使用多模组资产，允许多种组合和配置。这与用于全自动设备的集成灵活自动化模型（FAS）相结合。为了进一步增加生产多样性，该系统能够生产线路宽度为0.1微米（1/10,000毫米）的设备，因此适合4G和5G移动技术等高精度和超低千伏应用。此外，TOKYO ELECTRON Indy Plus还配备了多项内置的安全功能，如改进后的环境控制单元以降低污染风险，以及低千伏设计以尽量降低发生故障的风险。此外,该机器能够在所有层上实现卓越的均匀性,同时提供一致、高质量的最终产品,并且能够打印肉眼无法检测到的金属线条。TEL Indy Plus是一款高度先进、可靠且多功能的蚀刻器/asper工具，使其成为用于生产各种集成电路的必不可少的制造工具。INDYPLUS凭借其卓越的蚀刻精度、坚固的安全特性和先进的技术,为集成电路制造提供了全面、用户友好的解决方桉。