二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293815933 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高性能蚀刻器和asher,设计用于研发和中大规模生产。这款蚀刻器/asher适用于各种金属和多晶硅薄膜,以及玻璃、半导体和其他各种材料,使其适用于种类繁多的蚀刻和灰化应用。TEL INDYPLUS 蚀刻器/asher具有先进的蚀刻和灰化技术,可实现快速、精确和干净的结果。该单元采用模块化晶片传输设备设计,允许处理直径达8英寸的晶片。TOKYO ELECTRON INDY PLUS 蚀刻器/asher还具有先进的晶圆清洁技术,可以彻底彻底清洁表面。Indy Plus 蚀刻器/asher配备了一系列高级部件,包括低真空工艺室、低压气体输送系统和高频射频发生器。低真空工艺对于金属和多晶硅膜的有效蚀刻很重要,而低压气体输送则能确保均匀的蚀刻结果。高频射频发生器提供精确的蚀刻和灰化能力。TEL INDY PLUS 蚀刻器/asher还具有集成的工艺监控单元,可确保设置中的最高精度,即使在蚀刻过程完成后也能保持所需的蚀刻特性。此外,TOKYO ELECTRON INDYPLUS 蚀刻器/asher配备了广泛的安全特性,包括安全联锁和接地元件。该机组还按照最新的行业标准进行设计,确保安全使用和操作。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS是研发和中大规模生产的优秀蚀刻器/asher。它具有先进的蚀刻和灰化能力,低真空工艺室,低压气体输送机,以及高频射频发生器,所有这些结合在一起产生准确和可重复的结果。该单元还在设计时考虑了安全和行业规格,使其成为许多蚀刻应用的可信赖选择。
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