二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是半导体工业的蚀刻器/灰化器，为半导体器件提供先进的蚀刻和灰化技术。TEL INDYPLUS被设计为高效、精确,提供低于0.5 nm的蚀刻分辨率和大于5 nm的精度。它具有6英寸或8英寸的单个晶片大小，并且可以处理高达450nm的薄膜和台阶。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了机动化的独立前向和后向横向级，为对准提供了高精度，提高了重复性。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用了一种独特的蚀刻技术，称为挥发性有机化合物辅助蚀刻（VOC-ET），这是一种由TEL开发的先进蚀刻技术。VOC-ET技术能够处理具有垂直侧壁和出色蚀刻轮廓的细粒硅和FinFET器件。此外，TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS採用了抽取记忆体相容能力，让使用者可以轻鬆从以前的装置中回忆食谱。TEL INDY PLUS还为用户提供了使用TOKYO ELECTRON专有软件定制蚀刻和灰化配方的能力。TEL Indy Plus配备了多个工艺室，方便同时和独立蚀刻和灰化。该工艺室配有无氟气体溷合物输送设备，其设计目的是尽量减少工艺排放，同时最大限度地提高蚀刻性能。TOKYO ELECTRON Indy Plus还设计了易于维护和经济高效的操作，配有自动化的介质输送系统和水冷排气单元。INDYPLUS还具有远程访问功能,允许用户从中心位置监视和调整流程设置。Indy Plus旨在提供一致、高质量的蚀刻和灰化工艺,同时满足半导体行业的特定需求。该机器有助于减少与设备和可靠性测试相关的时间和成本,并为高级设备节点提供增强的流程能力。TOKYO ELECTRON INDYPLUS能够处理多种基材和晶圆尺寸，设计符合生产力和正常运行时间的最高标准。