二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款为各种半导体应用和工艺而设计的蚀刻器/asher。它是一种小占地面积的单晶片蚀刻/灰分设备,可提供精确、高通量的异构蚀刻/灰分工艺。蚀刻器/asher有一个小的150 mm腔室，可以容纳多达100个晶圆，并且能够对各种材料进行一系列的蚀刻/灰化工艺。TEL INDYPLUS 蚀刻器/asher具有先进的系统设计,可确保整个晶圆上晶圆蚀刻或灰度均匀性的精确过程重复性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS 蚀刻器/asher利用电子回旋共振（ECR）等离子体与电子等离子体源提供高度均匀的等离子体蚀刻或灰化。等离子体源的选择可以从ECR改为标准电感耦合等离子体（ICP）。此外，还可以包括一个先进的压电执行器和晶圆旋转选项，以便根据具体要求进一步定制工艺。该蚀刻器配备了高质量的矿物堆积保护装置，先进的晶片自旋控制确保了高度均匀的离子轰击，这对于高度均匀的蚀刻/灰化是必不可少的。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS 蚀刻器/asher构建了多种监控功能，其中包括压力、温度以及与工艺时间无关的射频功率调整。这允许进行各种过程，如氧化物蚀刻、纳米纹理和选择性蚀刻或灰化。该机器还具有蚀刻/灰分轮廓的实时显示,以便于监视过程活动。INDY PLUS 蚀刻器/asher是高度可定制的,可以配置为满足特定的流程要求。该蚀刻器/asher设计用于最大程度的工艺均匀性和可重复性,非常适合中高批量工艺的生产操作。该工具还与一系列材料兼容，因此非常适合多种工艺应用。