二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828763 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款专为微电子、光掩模和其他薄膜製造工艺而设计的高端、精密的蚀刻器/asher。它能够使用反应性离子蚀刻（RIE）技术在各种几何形状和材料上提供精密蚀刻能力。TEL INDYPLUS具有全封闭的腔室,具有集成的温度和真空控制功能,即使在难以蚀刻的材料上也能实现可重复和可靠的蚀刻。该系统有一个交互式8英寸彩色触摸屏,用于控制蚀刻器/ashers操作的各个方面。TOKYO ELECTRON INDY PLUS也有一个高分辨率的光学视口来监视蚀刻过程。TOKYO ELECTRON Indy Plus可以处理广泛的过程和几何形状。它配备了高品质的浮级和能够微米级定位的三轴系统。Indy Plus还具有自动匹配功能,其中系统将其蚀刻参数与要蚀刻的材料相匹配。这样可以最大限度地提高蚀刻材料的质量,同时最大限度地减少浪费。此外,它的现代设计允许轻松访问困难的拐角和曲面。TEL Indy Plus提供卓越的安全功能,确保最大限度地保护人员和材料免受蚀刻过程中产生的有害气体和热量的影响。INDY PLUS还提供了先进的联网和通信功能,能够对过程进行远程控制并与现有生产网络集成。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS将为您提供多种材料类型的蚀刻和清洗工艺选择,如光掩模、聚酰亚胺、SiN/SiO2和金属。这些工艺是专门为微电子和MEMS应用而设计的，可以处理范围很广的晶圆尺寸达200毫米。TEL INDY PLUS是高精度、高品质、可重复生产效果的理想蚀刻和粉碎机。