二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828764 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款最先进的蚀刻器/asher，设计用于在单个晶片和批次蚀刻应用中实现精确的光刻和蚀刻技术。TEL INDYPLUS能够对任何厚度达32 nm的材料进行高分辨率蚀刻。它具有广泛的功能,可根据不同的流程需求进行定制。它可以针对不同的工艺参数进行配置,例如基本压力、压力平衡、硬度、速度、功率和温度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS有一个电脑控制的设备设计，可以对整个过程进行精确的控制。通过使用其内置软件，用户能够调整各种参数，比如材料厚度、工艺速度、气体压力等等。这种精度为用户提供了严格的重复性和改进的过程控制。作为一个附加的特点，系统还可以进行溅射、抗条、氧化物沉积等光刻。Indy Plus设计为在单个晶片或批处理模式下运行。在单晶片模式下，该单元允许一次均匀蚀刻一个晶片。这样可以实现快速高效的蚀刻过程。在批处理模式下，机器可以一次蚀刻多个晶片。此功能可提高吞吐量,并在光刻过程中提供更大的灵活性。INDYPLUS提供多种选项,例如可选的额外燃气箱、阀门和传感器。这些附加功能可用于进一步控制流程性能,使用户能够微调所需的结果。该工具还有一个完整的食谱库，以适应不同的蚀刻技术，从氧化物蚀刻到干湿蚀刻。TEL INDY PLUS的设计具有高度的通用性和用户友好性,使其成为各行业用户的热门选择。从精确度到定制能力，INDY PLUS是任何蚀刻或光刻需求的理想解决方桉。凭借其多种功能和选项,用户一定能通过TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS的蚀刻或光刻工艺获得最佳效果。