二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用于半导体制造的高级蚀刻器/asher。它是一种先进的工具，旨在为半导体制造提供准确、可重复和可靠的蚀刻和灰化步骤。它由强大的等离子体源、机械臂运动和便于装卸样品的负载锁室构成。等离子体源被设计为产生一个能够进行氧化物、氮化物和多晶硅蚀刻的均匀等离子体。其机械臂能够通过反馈回路进行精确的样品处理，以保持样品放置的准确性。TEL INDYPLUS的载荷锁室为载荷晶片提供了一个高效、经济的解决方桉。它具有两个可交换晶圆冷却级和一个内部气体溷合单元，可以提供多种气体，以满足特殊的蚀刻/灰化要求。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有快速响应气场效应晶体管（FET）监测系统，可以连续监测气体浓度，以实现最佳工艺控制。TEL INDY PLUS由完全实现的配方支持,这些配方用于控制和执行蚀刻/灰化阶段。它还具有一个数据管理系统,可以监视、存储和存档所有数据,以便将来进行流程分析。此外,Indy Plus还支持各种专业工具,以进一步增强流程控制。这些工具包括一个小盒气体剂量装置、用于沉积速率控制的集成下游传感器和一个射频等离子体发生器。INDYPLUS是半导体制造中一个非常有价值的工具，因为它旨在以最小的输入提供最大的输出和产量。其强大的设计和高效的操作使客户能够快速生产具有较小足迹和高产率的优质集成电路。此外，其用户友好的界面和全面的多功能性使得它适合各种尺寸的FAB，从小到大。TEL Indy Plus是一款技术先进的蚀刻器/asher，可为半导体制造应用提供精确的蚀刻和灰化解决方桉。它具有强大的设计、高效的加载以及全面的过程控制和数据管理功能,是业界非常有价值的工具。